绝缘体

半导体行业有机废气应该如何进行治理rt

发布时间:2023/4/9 11:51:12   

半导体是指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间并且导电性可控的材料,而在我们的日常生活中提到的半导体基本是指半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明应用、大功率电源转换等领域的应用。在5G和智能汽车高速发展的当下,芯片和集成电路等各类半导体元器件的需求量也在不断增长。

半导体行业中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分。在工艺过程中,这些有机溶剂大部分通过挥发成为废气排放。工业生产排放的废气,常对环境和人体健康产生有害影响,在排入大气前应采取净化措施处理,使之符合气排放标准的要求,这一过程称为废气治理。

RTO蓄热式氧化炉,简称“RTO设备”,是采用高温破坏焚烧的废气治理技术。采用PLC智能操控系统,能够将设备的处理数据信息进行智能化系统监管,既能够反应设备的操纵温度及反应速度,还能够与环保局进行物联网联结,实时提供废气的达标排放数据。设备的主体由燃烧室、陶瓷填料床和转换阀等构成。原理是在高温下将可燃废气氧化成氧化物和水,净化废气,并回收废气分解时所释放出来的热量。

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