绝缘体

磁控溅射设备的主要用途

发布时间:2025/3/16 17:00:55   

上一次小编带大家快速了解了电子束蒸发镀膜机,今天我们来聊一聊磁控溅射设备的主要用途有哪些?什么?你不知道什么是磁控溅射?

上一次小编提到了一个词是PVD,即物理气相沉积,电子束是PVD的一种,磁控溅射也一样。电子束一般用于对镀膜材料有高纯度高标准要求的领域,而磁控溅射一般的应用更日常一些,比如爷爷奶奶的半导体、常见的绝缘体材料、一些手机壳,这下不再觉得磁控溅射遥远了吧。而且磁控溅射的优点也很明显、很接地气:设备简单、易于操控、镀膜面积大等等。早在上世纪七八十年代,磁控溅射设备就完成低速高温低损伤。

既然说了这么多,就多说点,再来说说磁控溅射的工作原理。磁控溅射和电子束不同,电子束是在真空环境下,磁控溅射磁控溅射包括很多种类。各有不同工作原理和应用对象,本质是在电场E的作用下,入射粒子和靶的碰撞过程,入射粒子在靶中经历复杂的散射过程,和靶原子碰撞,把部分动量传给靶原子,此靶原子又和其他靶原子碰撞,形成级联过程。在这种级联过程中某些表面附近的靶原子获得向外运动的足够动量,离开靶被溅射出来。磁控溅射技术分为:直流溅射法、溅射镀膜、直流磁控溅射技术三种。

那么,磁控溅射设备的主要用途有哪些呢?

1.被应用于装饰领域,被制成全反射及半透明膜,比如我们常用常换常买的手机壳,没想到吧;

2.被应用于机械加工行业中提高涂层产品的寿命寿命。因为溅射磁控镀膜能够有效提高表面硬度、韧性、耐磨抗损以及耐化学侵蚀、耐高温,从而达到提高产品寿命的作用;

3.被应用于微电子领域。在微电子领域作为一种非热式镀膜技术,主要应用在化学气相沉积(CVD)或金属有机;

4.被应用于在高温超导薄膜、铁电体薄膜、薄膜发光材料、太阳能电池等方面的研究,发挥了非常重大且重要的作用;

5.被应用于各种功能性薄膜的制作。比如具有反射、折射、透射作用的薄膜;具有吸收、偏光等作用的薄膜;

6.被应用于光学领域。比如被广泛应用于平板显示器件的透明导电玻璃、微波与射频屏蔽装置与器件、传感器的生产,都离不开磁控溅射技术。



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