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大家好,我是传感器事业部,张工。
MEAS传感器是由电子、电气和机械元件组成的微观集成设备,它们通过使用称为微系统技术(MST)的技术共同工作以满足单一功能要求。MEAS传感器被认为是传统集成电路制造的延伸。传统IC制造技术与MEAS的主要区别在于,使用MEAS不仅可以制造电容器和电感器等电气元件,还可以制造齿轮、弹簧、梁等机械部件。使用传统IC技术,只可以制造导体,绝缘体、二极管和晶体管。
MEAS传感器MEAS借助先进的IC制造技术将有源和无源元件集成到单个硅基板中。有源元件是传感器和执行器,而无源元件是无源电子系统和无源机械系统。由信号处理电路(如放大器、ADC、滤波器等)组成的电子系统是使用IC制造工艺设计的,而由齿轮、曲柄、轴承等组成的机械系统是通过微加工工艺设计的。
传感器是当今数字世界的重要组成部分之一。由于所有计算和处理都是在数字信号上完成的,因此在模拟世界和数字电子设备之间应该有一个媒介。传感器弥合了这一差距,因为它们用于观察模拟物理参数的时间效应并生成有意义的信息(发送到计算机)。传感器的现代定义有时可能令人困惑,但简单来说,传感器是一种包含基本传感元件的设备,这些元件可以感知温度或湿度等物理量并将其转换为电信号。该传感器还包含一个信号处理单元,例如放大器、滤波器或ADC或这些元件的组合。
MEAS压力传感器对于MEAS传感器,如果传感器是使用MEAS技术设计和制造的,则称为微加工微传感器或简称为MEAS传感器。例如,一个手势控制机器人包含一个3轴加速度计、一个3轴陀螺仪和一个数字运动处理器。
不同类型的MEAS传感器,MEAS技术的主要实施者之一是汽车行业。现代汽车使用许多传感器,其中大部分是基于MEAS的设备。以下是现代汽车中使用的MEAS传感器列表。
-加速度计——用于电子稳定控制和安全气囊展开。惯性测量单元或IMU(它们是MEMS加速度计和MEMS陀螺仪的组合)——用于测量自动驾驶的偏航、俯仰和滚动。
MS-02BA气压传感器-导航定位。
M压力传感器——用于自动控制。
M压力传感器——胎压监测系统。
LMM-H03气流传感器-进气口监控。
燃油传感器-燃油液位指示器。
64C--碰撞和碰撞传感器——碰撞检测和安全气囊展开。
CM-01麦克风——用于通信和噪声消除。
TS-1B温度传感器——用于自动气候控制和发动机温度监测。
压电薄膜传感器差压检测传感器