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离子风机可同时消除晶圆上的静电和灰尘

客户问：您好，我们刚刚购买了一个超声波晶圆清洗系统，把晶圆放置晶圆船中并放到系统中，然后将它们浸入去离子水中，最后取出前，鼓风机就会打开将晶片吹干。我认为鼓风机会在这些晶片上产生数千伏的电荷，我想知道如果当人拿起晶圆船会引起哪些问题。我不同意直接在系统上放置离子静电消除器，因为它会将颗粒吹回晶圆上。你都有没有解决的办法呢？

#静电消除#

老师回复：根据ADV1.0-术语表“静电放电(ESD)”由高静电场引起的快速、自发的静电荷转移。注意：通常情况下，电荷会在两个具有不同静电势的物体彼此靠近时产生火花。”

由于晶片船和人处于不同的电压下，因此可以预见会发生静电放电事件。如果晶圆舟上有电荷，人接地，基本为零电位，那么肯定是“两个不同静电电位的物体”。

关于“将颗粒吹回晶圆上”，晶圆上的电荷会引起静电吸附(ESA)，并倾向于吸引相反的带电粒子。离子发生器可中和电荷，在静电放电(ESD)控制中特别有效，可从无法接地的绝缘体或未接地的绝缘导体中去除静电电荷。此外，离子发生器可有效处理带电粒子附着在产品上导致污染问题的静电吸引.许多公司使用AAC离子发生器，其中电离气流可以被引导到需要的地方，并通过中和电荷和吹掉粒子来去除粒子。

如何设计一个高效的防静电工作站什么情况下我们需要使用静电消除器什么是静电离子发生器？为什么要使用离子发生器？

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