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聚合物材料因具有优异的电学和力学性能而被广泛地应用于电力设备中。在由金属导体、聚合物材料和气体构成的电气系统中，当在导体上施加一定电压时，由于导体表面存在的微小毛刺或是聚合物材料内部有杂质，易在聚合物材料表面产生电荷积累，称为表面电荷。表面电荷的存在会对材料的绝缘性能产生重要影响，它不仅使自身周围的电场发生畸变，同时为沿面放电提供放电电荷以及放电通道，导致高压击穿。材料表面电荷的动态特性尤其是衰减特性，在一定程度上反映了介质材料表面电学性能的好坏，其变化会影响材料的极化、抗静电性能以及闪络性能。表面电荷的准确测量对于研究固体绝缘介质的老化和击穿、闪络特性有着极为重要的意义。为了增强材料的绝缘特性，通过低温等离子体技术对材料表面改性，以加快其表面电荷的消散。低温等离子体内部含有大量的高能电子及活性粒子，可以在改善材料表面电荷性能的同时不改变材料的性质。利用低温等离子体沉积的方法加快表面电荷消散特性。采用介质阻挡放电等离子体进行材料表面改性，结果发现，等离子体处理后材料表面粗糙度增加，且二次电子发射系数降低，材料表面电荷消散速度明显加快。使用等离子清洗机对材料表面处理时，需要对放电参数进行一定的优化，主要考察功率能量的大小、放电的面积与均匀性。等离子体处理可以引起材料表面发生一系列物理化学变化，进而影响介质表面的电学性能。表面最大电位幅值随施压幅值的增加而增加，但增加一定程度后达到饱和状态；施压时间对表面电位影响不大；湿度的增大会加快表面电位的衰减；栅极网的加入会使表面电位的分布变得均匀，并且降低表面电位的最大幅值。施加电压越大，介质厚度越小，放电电流幅值越大，而放电间隙对放电电流幅值影响较小。等离子体清洗机处理后可以明显加快环氧树脂材料表面电位的衰减，随处理时间延长衰减速率呈先增加后减小的变化趋势。

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