真空中放置一对电极，加上高压时，在必定的电压下也会发生电极之间的电击穿。它的击穿与空气中的电击穿有很大不同。空气中的击穿是由于气体中的少量自由电子在电场作用下高速度运动，与气体分子磕碰发生较多的电子和离子，新生的电子和离子又同中性原子磕碰，发生更多的电子和离子。这种雪崩式的电离进程，在电极间形成了放电通道，发生了电弧。而真空中，由于压强较低，气体分子很少，在这样的环境中，即使电极空隙中存在着电子，它们从一个电极飞向另一个电极时，也很少有机会与气体分子磕碰。因而不行能有电子和气体分子磕碰造成雪崩式的电击穿。正是由于气体分子十分稀疏，真空空隙电击穿需要在非常高的电压下出现场致发射等其它现象时才有可能形成。从理论上估测，电场强度需到达V/cm以上时才会造成电击穿，实际上真空空隙的绝缘强度由于一系列不利因素例如电极外表粗糙度、洁净度等的影响，将低于理论核算值几个数量级。

真空灭弧室中的真空度很高，一般为10-3～10-6帕，此刻真空空隙的绝缘强度远远高于1个大气压的空气和SF6的绝缘强度，比变压器油的绝缘强度还要高。正由于真空的绝缘强度很高，真空灭弧室中的所有电气空隙都可以做得很小。例如12kV真空灭弧室的触头开距只有8～12mm，40.5kV真空灭弧室的触头开距也只需18～25mm，真空灭弧室中的其它电气空隙也在此标准范围。